空气分离是工业上常见的气体制备方法，通过空分设备把空气中的各组份气体分离，生产氧气、氮气和气，还有稀有气体气、气、气、氙气等。
稀有气体的生产涉及到空气、、合成氨尾气及核反应堆裂变气等多种气源。虽然涉及面较广，制取的工艺流程又多种多样，但就其制取的基本原理来说，都是利用各种稀有气体及其伴随杂质的物理、化学特性的差别。
目前在工业上具体应用的物理方法，例如分凝、、精馏、洗涤(物理吸收）、吸附、薄膜渗透和扩散单元操作
稀有气体提取设备的调平、配管和试压等应按本章相应各节的有关规定执行。
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用于核技数。0.95%异丁烷与氦的混合物和1.3%的丁烷与氦的混合物都被人们用来作盖格计数管用气体。0.4%异丁烷与氦的混合气和10%的甲烷与的混合物都用作比例计数器用气体。
用于电子元件的制造。含微量掺杂物化三氢，或等的气体。例如：氢气、氦气、气或氮气等气体，用来制造硅半导体。高度净化的氨的混合物用来作渗氮用。，无论是纯的还是在混合物中都可用于硅的沉积。和上述混合气之一相似的混合气体、若化三氢和的含量高，通常用来制造稼半导体。
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