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特种气体指半导体生产环节中，比如延伸、离子注进、掺和、洗涤、遮掩膜形成过程中使用到一些化学气体，也就是气体类别中的电子气体，特种气体的储存注意事项：储存高压气体≥300m，液化气≥3000kgs时，特种气体价格，储存场所需要经过县级以上相关单位批准。高压容器储存场所出入口及显眼处，特种气体公司，需设有安全警示牌。特种气体种类：广义的“电子气体”指可用于电子工业生产中使用的气体，是重要原材料之一，狭义的“电子气体”特指可用于电子半导体领域生产的特种气体。
在半导体制造过程中涉及的材料众多，在半导体集成电路的生产过程中，从芯片生长到后器件的封装，几乎每一步、每一个环节都离不开电子特种气体，因此电子特种气体被称为半导体材料的“粮食”和“源”。特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流开关、风压事故报警、、压力监测及报警等安全使用所必须的设施。排风管配置泄漏探头。气瓶柜有手动、半自动、全自动三类。随着国产化的推进，部分种类的电子特种气体慢慢形成规模效应，占据市场半壁江山。一些常规的特气产品，中国的产能甚至可以满足范围内的需要，但需清醒的看到，从竞争力，质量管理，品牌效应方面来说，我们仍然处于低水平区间。
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