激光切割领域较长使用的二氧化碳激光混合气体,这里二氧化碳就是产生激光作用的主导气体。二氧化碳激光混合气体目前存在切割线粗,毛边多,并且切割钢板的厚度很有限,一般都在10mm左右。激光切割机所用气体的种类和作用:1)空气:①作为切割气体使用②作为冷却切使用③作为光路内部除尘使用(保护镜片延长镜片的使用时间)2)普氧:作为切割碳钢的气体(助燃性)纯度99.5%3)纯氮:作为切割不锈钢的气体(冷却性)纯度99.9%(切割碳钢速度为3/4)4)高纯氮:作为激光器的使用气体,纯度:99.999%5)高纯氦:作为激光器的使用气体,纯度:99.999%6)高纯二氧化碳:作为激光器的使用气体,纯度:99.999%;中性原子激光中,常见的是氦氖激光。它的红光尤其为我们所熟悉。它的光色显著,所以常用作非可见光激光中的指引光束(Guidingbeam)。其优越的同调性及方便的操作条件(只须气冷、110V的电压、价格相对地),使它广用于扫描读码设备及全像等。
如果将氦(He)氖(Ne)激光作为代气体激光,二氧化碳激光混合气体是第二代气体激光,在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光,可称为第三代激光。气体激光器的重要特点之一,激光工作物质是混合气或单一纯气体。由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能,特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损,还会引起激光发射的不稳定。因此,对激光混合气组分的纯度有着特殊要求,包装混合气的钢瓶,充装前也必须进行干燥处理,防止污染混合气。如果将氦(He)氖(Ne)激光作为代气体激光,二氧化碳激光是第二代气体激光,在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光,可称为第三代激光。一方面氩激光很少见,准分子激光气体价格,另一方面为了便于称号,人们常将氩离子激光简称为氩激光。不光中文叙说如此,英文文献亦见此用法,广州激光气体,所以在不致混杂的时候,仍可用氩激光称号氩离子激光。
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