重要的准分子激光，以稀有气体的卤化物为自动介质，如ArF，激光气体， KrF， XeF， KrCl，XeCl等。因为受激态常以星号(*)上标表示，所以有些数据上写成ArF*等。准分子不会天然出现，而是在气体混合物中放电时形成的。一方面氩激光很少见，另一方面为了便于称号，人们常将氩离子激光简称为氩激光。不光中文叙说如此，英文文献亦见此用法，所以在不致混杂的时候，仍可用氩激光称号氩离子激光。激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。
激光切割机所用气体的种类和作用：1）空气：①作为切割气体使用 ②作为冷却切使用③作为光路内部除尘使用（保护镜片延长镜片的使用时间）2）普氧：作为切割碳钢的气体（助燃性）纯度99.5%3）纯氮：作为切割不锈钢的气体（冷却性）纯度99.9%（切割碳钢速度为3/4）4）高纯氮：作为激光器的使用气体，纯度：99.999%5）高纯氦：作为激光器的使用气体，纯度：99.999%6）高纯二氧化碳：作为激光器的使用气体，激光气体多少钱，纯度：99.999%；在激光焊接中，保护气体会影响焊缝成型、焊缝质量、焊缝熔深及熔宽，极大多数情况下，吹入保护气体会对焊缝产生积极的影响作用，但是也可能会带来不利的作用。金属蒸汽离子激光中，氦镉(He-Cd)激光是主要的，氦硒(He-Se)、氦锌(He-Zn)等激光为此家族中之成员。氦镉激光的325nm紫外线，激光气体价位，和441.6 nm蓝光，是常见的输出。加上特殊设计时，它可同时发生红光(635.6及636.0nm)和绿光(533.7及537.8nm)。它的短波长成分，在信息处理方面很有用。适当调配各波长的输出，几乎能够发生一切可见光的颜色，因此它的白光激光产品也是有名的。储存密度及鉴别能力的提高，使它在量度、查验、记载、印刷等方面有许多使用。
如果将氦（He）氖（Ne）激光作为代气体激光，二氧化碳激光混合气体是第二代气体激光，激光气体厂家，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪（KrF）激光，可称为第三代激光。中性原子激光中，常见的是氦氖激光。它的红光尤其为我们所熟悉。它的光色显著，所以常用作非可见光激光中的指引光束(Guidingbeam)。其的同调性及方便的操作条件(只须气冷、110V的电压、价格相对地)，使它广用于扫描读码设备及全像等。常用的激光焊接保护气体主要有N2、Ar、He，其物化性质各有差异，也因此对焊缝的作用效果也各不相同。
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