准分子(Excimer)激光：准分子一词的本意，是「两个同种原子组成，而只存在于受激态的分子」，激光气体价位，如稀有气体分子He2、Ar2、Xe2等；其英文原名为Excited Dimer组合成的术语。现在现已将它的适用范围放宽，以包含「不存在于基态，只以受激态出现的任何双原子分子(有时还包含三原子分子)」。如果将氦(He)氖(Ne)激光作为代气体激光，二氧化碳激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光，可称为第三代激光。金属蒸汽离子激光中，氦镉(He-Cd)激光是主要的，氦硒(He-Se)、氦锌(He-Zn)等激光为此家族中之成员。氦镉激光的325nm紫外线，和441.6 nm蓝光，是常见的输出。加上特殊设计时，它可发生红光(635.6及636.0nm)和绿光(533.7及537.8nm)。它的短波长成分，在信息处理方面很有用。适当调配各波长的输出，几乎能够发生一切可见光的颜色，它的白光激光产品也是有名的。储存密度及鉴别能力的提高，使它在量度、查验、记载、印刷等方面有许多使用。
气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体。由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能，特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损，还会引起激光发射的不稳定。对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。如果将氦(He)氖(Ne)激光作为代气体激光，二氧化碳激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光，可称为第三代激光。Au，Cu，激光气体，Ba，Sn，Pb，激光气体厂家，Zn等金属的蒸汽，都是中性原子激光的自动介质。它们的蒸汽中，常混入低压力的惰性气体，以提高放电效率。气体激光(Gaseouslaser)，以气体为自动介质的激光中，包含中性原子激光、离子气体激光、金属蒸汽激光、分子气体激光、准分子激光。
激光混合气中的发生气体是激光发生器上用来产生激光的气体，对气体质量要求高，激光混合气配制精度要求高，高纯二氧化碳纯度达99.999%，高纯氮气的纯度99.999%，高纯氦气的纯度要求99.999%，二氧化碳是产生激光的，氦气是冷却激光器的，氮气是平衡气体，气体中的水分、氧份、有机气体杂质对激光机的镜片损伤特别大，能快速减少镜片的寿命。激光机对这些气体的质量要求特别高。中性原子激光与离子气体激光的差别，在于前者的激光光来自中性原子能阶之间的跃迁，后者是离子的能阶(如Ar+，Kr+ )间之跃迁。氩激光(Argon laser)与氩离子激光(Argon ionlaser)并不相同，前者的激光光波长属于红外线波段，后者则在可见光和紫外线区。激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。
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