高纯气体通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体，纯度指标不同。
例如对于氮，氢，氦而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；
而对于氧气，纯度为99.99%即可称高纯氧；
对于碳氢化合物，氯化氢，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。
高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、、氦可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的底气。
近年来，随着我国集成电路、液晶显示器、太阳能电池、半导体、光纤光缆等行业的高速发展，特种气体作为这些产业重要的原材料之一，我国滞后的国产高纯氙气、高纯气（纯度在99.999%以上）六氟化硫等成为外资挟制中国制造业发展的软肋。
国产高纯氙气广泛用于电子、电光源工业、焊接切割行业、深度剂，气态氯化氢，X光摄影的造影剂等。用氙气充填的灯泡与相同功率的充灯泡相比，具有发光率高、体积小、寿命长、省电等优点。由于它的透雾能力特别强常用作有雾导航灯，氯化氢公司，广泛用于机场、车站、码头。氙气灯凹面聚光后可生成2500℃高温可用于焊接或切割难熔金属如钛、钼等。在医学方面，氯化氢液体，氙气是一种没有副作用的深度剂X光摄影的造影剂。
高纯氧化铝能有效提高PTFE的耐电弧烧蚀性能。
添加无机填料能有效的提高喷口材料耐电弧烧蚀性能。当填料种类不同时，复合PTFE的电弧烧蚀量依次为：
复合MoS2的PTFE烧蚀量>复合三氧化二铝的PTFE烧蚀量>复合BN的PTFE烧蚀量。
高纯氧化铝的粒径范围是在5-10um，纯度为99.9999%为好。
高纯氧化铝还能提高PTFE的耐高温性能，耐磨性能。
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