硅酸甲酯，又称甲基硅酸甲酯，是一种有机硅化合物。其化学式为(CH3O)3SiCH3，硅酸甲酯是一种无色液体，具有挥发性和具有刺激性气味。它可溶于有机溶剂，不溶于水。其具有较低的沸点和闪点，易挥发。主要用作电子工业的绝缘材料、光学玻璃处理剂及凝结剂，也可用于有机硅化合物的合成。
硅酸四甲酯
外文名：Tetramethyl orthosilicate
别 名：四甲氧基硅烷
化学式：C4H12O4Si
分子量：152.221
CAS登录号：681-84-5
EINECS登录号：211-656-4
熔 点：-4 ℃
沸 点：121 至 122 ℃
水溶性：不溶
密 度：1.023 g/cm³
外 观：无色液体
闪 点：28 ℃
溶解性：不溶于水，可混溶于多数有机溶剂
用途：主要用作电子工业的绝缘材料、光学玻璃处理剂及凝结剂，也可用于有机硅化合物的合成。还用于制备有机硅树脂和硅乳液，用于涂料、胶黏剂等领域。此外，硅酸甲酯还用于电子行业，作为半导体材料和涂层的原料。
