不锈钢制管件是用来传输各种制程气体的主要管件，尤其是传输一些的危险性气体。所以不锈钢制管件的制作和施工要求在以上几种不同材质的管件中***为严格，一般对于P级要求（×10-9级）制程气体的输送，均要求采用SUS316材质的EP (ElectronicPolishing)管材，对于一般非制程气体的输送采用SUS316材质的BA （BrightAnneal）管材。SUS316作为一种低含碳量的不锈钢材料，它不仅具有抗腐蚀性好的优点，而且对凹洞的抵抗性也很好。由于BA管的制作是经过了溶解、压延（Hot/ColdRolling）、溶接(Welding)、热处理(Hot treatment)、研磨(Polishing)等复杂过程，其表面粗糙度Rmax≦4.5mm。EP管材除了表面研磨等过程外，再加以电解研磨及精密洗净技术，其Rmax≦0.7mm。
干燥和置换讨论
干燥和置换方式的选挥
T l2 03 储罐的氮气干燥和置换，其容积达19. 78万时，置换方法的选择将影响储罐置换的总体进度，从此次置换过程来分析，实际施工时可以灵活的选用任何一种方法进行，但对于此类初期置换容和、，大内部空间空气体积量较大的可优先采用连续干燥和置换的方式进行，在一定压力下连续置换效果与初期有所下降时，及早改用压涨式进行置，换此二种方法相结合对加快储罐系统干燥和置换发挥了良好作用。
5.3. 2 置换路径方面的优化
储罐系统置换所分的四个区，每个区置换的时间要求均不 同，从重要程度、难度方面分析，从工施的可行性这一角度进行论证，管道氮气置换，可将 A 区与B 区在置换接近设定标准值前，提前用其处的氮气对C 区与 D区同时进行干燥与置换，多点同时进行的方法相当于缩短了系统置换时间。
5. 3. 3 升、力速度的控制
氮气干燥置换过程中， 每小时压力变化不能超过 2kPa，同时特别注意在升压时要保证各区压力情况为：A 区；，二， B 区 注C区》D 区。次压涨式进行干燥和置换时，压力范围可控制到3～ lOkPa 左右，之后的可控制到5 ～ IOkPa左右，加减压排放的方式进行加强巩固干燥效果时，尽可能小的升、力速度，以免压力波动对储罐系统带来不可预见的影响。
5. 3.4 干燥和置换介质讨论
干燥和置换介质从（<BS EN 14620-5- 2006 第 5 部分：试验、
干燥、置换和冷去H》描述需要选择惰性气体，从经济、适用上优先选用相对便宜且较为容易获取的氮气进行置换工作，管道置换氮气，置换过程 中可在适当的时间给氮气进行加热处理， 作用为加速空气与氮气的混合，有利于罐内空气及水份的排出，管道氮气置换，加快达到罐内、 含氧量的质量要求。
气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接***好以轨道式焊接法（OrbitalWelding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，并向施焊管内通入同等纯度的气，这样可以确保连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（Metalto metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有VCR和Swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，VCR式的接头主要用在制程气体以及危险气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（Gasket）将会适度变形以确保管路每秒低于10-9cc的氦气泄漏率（LeakageRate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合不良或气体外泄。Swagelok接头通常用在惰性气体、氮气以及CDA等气体的传输上，因为这些气体可以容许一定的外泄率，所以不常用成本较高且须焊接的VCR式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的危险气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
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