置换过程险的预防
为预防“”、“窒息”、“火灾”等风险，施工人员应采用
以下手段，对氮气注入的浓度进行控制 ：(1) 观察是否彻底置
换 ：氮气注入的过程中，施工人员应每隔5min 抽取管道中的
气体，连续检测3 次，对气体的类型进行检验。如检验结果显
示氮气的浓度＞98%，则表明氮气置换较为彻底，可安全的对
进行置换。(2) 置换氮气的过程中，氮气压力应控制在
0.02 ～0.1MPa 之间，以推动清管器前进。待清管器到达收球筒
后，需关闭阀门，停止置换。
高纯气体输送
重视配管 防尘 ， 做好配管施 工 的 清沽管 理 ， 对 防尘的措施可 能想出多种 ， 必须从实际 工作做起 省先在切 断 ， 洗净， 焊接后等作业 结束时利用塑料薄膜或盲盖 封好 ， 而直至使 用时再次打开 不要放在灰尘发生的地方或 室外 切断后切屑婆立 即去除阀门的开闭 要迅速 ， 一般应 以 关 闭状态 每 天 工 作结束 应将现场打扫干净 ， 尽盘防止尘埃侵人 获 配管的试验 、检查和分析 配管连接完 工 以 后 ， 终工序之 一 的耐 压试验和气密性试验 以及检查 和分析 ， 其一 ，般程序如图 所示 飞气密性和耐压试验基本应为同时并用 试 验 ， 试验条件以气密性试验的 小时放置及 耐压试验的设计压力 倍进行 同时进行 用检漏液肥皂泡 试验的发泡确认 另外 ， 通过温度补偿的压 降残余压力 率 的标 准 即 以上 为合格 关于配管洁净度 尘埃 测定应为利用 实际气体 滁外 的测定 ， 基本上 实施设备连 接取出用初级侧阀门总数的 测定 ， 求 出 平均值以判定是否合格 但在阀与测试仪器 连接中间应连接扩散管以避免尘埃计数器损坏。 至于和含氧量及其它杂质的分析 ， 在有 纯化装 的场合应 以 纯化器 出 口 指标 为基准在没有现 场分析仪的 ， 可通 过取样 瓶取样送验 。 但取样瓶必须沽净并在充灌时 予叔 充分里换 遴免任何形 式的沽污 ， 以 确保其实际值 全部试验合格后 ， ’ 还应对配管介质标注 名称和流 向 一般不锈钢配管不涂 漆 ， 但非不锈钢支承物应涂漆防锈后交付使用验收 三 、 高纯气体输送系统的管理 高纯气翰送系统的建立不仅耗费较大 的 投资和精力 ， 更重要的它对生产工艺和 产 品 合格率的影响是 巨大的， 要使高纯化系统持 久地 发 挥 效 益 ， 必 须重视 和 加 强 对 它 的 管理 。 有条件的 ，管道氮气置换， 建立系统的气体分析盘或 监控盘 ， 用以监视系统 的流食 ， 压力 ，长输管道氮气置换， 礴点及含氧盈 及 凡 以 及装 置的工作 情况和 异 常报警 ， 以便有问题时及时发现 ， 及时调整 建立和健全值班记录制度 ， 对 系统和 装 置运行工况进行记录 。 定期对系统终端 使用端 进行
作为半导体晶圆代工厂气体的使用者，每一位工作人员都应该在使用前对各种危险气体的安全数据加以了解，并且应该知道如何应对这些气体外泄时的紧急处理程序。一般来讲，我们将有三重保障来防范万一有意外发生的危险气体外泄进入到工作环境中。一个是特种气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路；第二个是持续不断的排气抽风系统（Exhaust），天燃气管道氮气置换，管路节点如气瓶柜、VMB、工作台等均具有很强排气抽风系统，以确保每一管路节点外围都处于负压环境。若发生微量的有毒气体的泄漏，排气抽风系统将******时间抽出；另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统，若发生任何有毒气体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到，这个控制系统将根据气体外泄对人体危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作，严重时紧急关闭上游所有气源，燃气管道氮气置换，同时会驱动中央控制室和现场的相关报警系统LAU，甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散，要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程技术人员严格按照所制定的标准作业程序操作，所有这些安全装置都将确保人员不会有安全上的顾虑。
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