（1）性气体
把自燃、、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定时，PH3与B2H6等气体也会产生自燃。可燃气体都有一定的着火燃烧范围，即上限、下限值。此范围越大的气体起燃烧危险性就越高，如B2H6的上限为98%，下限为0.9%。属于气体有H 2，NH3，PH3，DCS，ClF3 。
（2）毒性气体（Toxic Gas）：半导体制造行业中使用的气体很多都是对人体有害、有毒的。其中又以AsH3， B2H6，PH3等气体的毒性***大，它们的阈限值TLV（Threshold LimitedValve）分别只有50×10-9，100×10-9，300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。NO，C4F6，C5F8 ，NF3，CH 3F等都属于毒性气体。
（3）腐蚀性气体（CorrosiveGas）：这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，长输管道氮气置换，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如HCl，HF， PCl3， SiF4，ClF3，WF6等。
（4）惰性气体(Inert Gas)：隋性气体本身一般不会直接对人体产生伤害，在气体传输过程中，天燃气管道的氮气置换，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。属于这类的气体有C2F6，CF4，SF6，CHF 3等。
（5）氧化性气体（Oxide Gas）：这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有ClF3，Cl2，NF3等。
燃气管道安装中氮气置换套什么定额?
表1 小管径管道用液氮汽化置换换算系数
序号 公称直径 换算系数 备注 1 DN200以内 0.6 换算子目5-3402 2 DN300以内 0.7换算子目5-3402 3
DN400以内
0.8
换算子目5-3402
注：相应的分析化验台班不做换算。
6.分析化验台班：按设计文件或氮气置换方案确定的分析化验台班数量计算。若无明确规定，则按每一置换段管道或管段进气、出气端各设置一个分析化验点计算。
7.置换机械设备台班停滞占用费，计算方法为：每超过7小时计一台班，行驶设备按台班费用的80%计算，非行驶设备按台班费用的50%计算（台班单价按定额机械台班费计）。
8.操作人员等待费，管道氮气置换，计算计算方法为：每超过7小时计一工日，只计人工工日单价44.50元/工日，不再计取费用。
储罐系统干燥和置换
储镶干燥和置换需用由液氮！临时气化系统提供来完成置换工作。｜临时气化系统产生氮的气通过临时管道接入Tl 203 镶系统的氮气管网，再进储罐内部内罐内，控制其进入罐内的流量，保持内罐A 区、拱顶A 区与 B区环隙空间压力平衡。氮气可绕储罐 A 区、泵井和B 区循环。向储罐引人时，将罐顶中心吹扫喷嘴上的阀门部分打开，以 将储罐压力控制在8( ± 0 . 5)
k.Pa，并安全放空置换用氮气与空气的？昆合气体。液氮临时气化 系统｛共应在开始时较低，在检查制氮装置的运行情况，且罐内形成氮气一空气界丽后，方可再缓慢纳加氮气供应量。
当内罐氧含量低于15%，对泵井管进行干燥和置换。氧含量低于8%，管道氮气置换，对 B 区进行干燥和置换。 在内罐的低于一20℃ 且氧含量低于4%时，完成 A 区的干燥和置换工作。当 B 区的露dian低于－10℃且氧含量低于4%时，B 区完成干燥和置换。当 B 区的氧含:!Jt低于 8%时，宦 接把 B 区的 氮气导人 C区进行干燥和置换。调节八区 、B 区的氧气排放口的开度，使此二区的压力不得超过 I5 kPa ， B 区氮气将通过raJ隙 渗透进罐底边缘板下部说凝土层及＂＇幅板下部的干砂到达内罐底中心部位，并通过初 级底部吹扫 1--l 排出 储嫌。
C 区进行干燥和置换过程中，A 区、日区的压力必须控制始终大于 C 区的压力，以免产生储罐底部破坏。当C 区氧含量低于8%时，可以对D 区进行氮气干燥和置换。当初级底部吹扫处l驭样点的氧含量低于4%时， C 区置换合格，继 续对 C区进行干燥直至储罐及管道系统的氮气干燥置换工作全部完成。
D 区干燥和l 置换先打开底部平衡「l ， 从B 区平衡系统国流口引入喧与D 区相接顶角平衡口，再从底部平衡口置换出空气，控制 D 区的压力不可大于其它区的压力 ，同时保 持A 区、
B 区的压力不得超过 I 5kPa ，当底部平衡口处取样点的氧含于4%时，D 区置换合格，整个储罐完成干燥和置换。
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