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(4) 结构设计分析。平面张弦梁结构的受力特 性实际上相当简支梁的受力特性。从截面内力情况 来看 ，张弦梁结构与简支梁一样需要承受整体弯矩 和剪力效应。根据截面内力平衡关系 ， 张弦梁结构 在竖向荷载作用下的整体弯矩由上弦构件的压力和下弦拉索的拉力所形成的等效力矩来承担。由于张 弦梁结构中通常只布置竖向撑杆 ， 且下弦拉索不能 承受剪力 ， 从 2根竖向撑杆之间截面内力平衡关系 来看 ，天燃气管道氮气置换， 其整体剪力基本由上弦构件承受。因此上弦构件除了整体弯矩效应产生的压力外还承受剪力以 及由剪力产生的局部弯矩效应。 (5) 结构设计分析结果。采用有限元分析软件 ANSYS对张弦梁结构进行了强度及刚度分析 ， 得 到张弦结构中各种杆件的受压应力、拉应 力值、结构的位移和变形情况 ， 终确定结构的各种杆件的截面尺寸。 (6) 作用分析。对张弦梁结构进行了自振 特性分析和时程响应分析 ， 获得结构前几阶控制周期及其对应振型。从结构的时程响应和自振周期来
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不锈钢制管件是用来传输各种制程气体的主要管件，尤其是传输一些的危险性气体。所以不锈钢制管件的制作和施工要求在以上几种不同材质的管件中***为严格，一般对于P级要求（×10-9级）制程气体的输送，均要求采用SUS316材质的EP (ElectronicPolishing)管材，对于一般非制程气体的输送采用SUS316材质的BA （BrightAnneal）管材。SUS316作为一种低含碳量的不锈钢材料，它不仅具有抗腐蚀性好的优点，而且对凹洞的抵抗性也很好。由于BA管的制作是经过了溶解、压延（Hot/ColdRolling）、溶接(Welding)、热处理(Hot treatment)、研磨(Polishing)等复杂过程，其表面粗糙度Rmax≦4.5mm。EP管材除了表面研磨等过程外，再加以电解研磨及精密洗净技术，其Rmax≦0.7mm。
气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接***好以轨道式焊接法（OrbitalWelding）来接合，管道氮气置换，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，并向施焊管内通入同等纯度的气，这样可以确保连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（Metalto metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有VCR和Swagelok两种，管道氮气置换，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，管道置换氮气，VCR式的接头主要用在制程气体以及危险气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（Gasket）将会适度变形以确保管路每秒低于10-9cc的氦气泄漏率（LeakageRate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合不良或气体外泄。Swagelok接头通常用在惰性气体、氮气以及CDA等气体的传输上，因为这些气体可以容许一定的外泄率，所以不常用成本较高且须焊接的VCR式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的危险气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
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