(1)管道系统全部按设计文件施工完毕;
(2)管道安装位置正确，数量齐全，紧固程度、干燥质量合格;
(3)施工前应对管线、阀门、设备进行检查，其开闭状态应符合要求，管道设备不准同时进行其他作业
(4)在施工现场立氮气警告标志，未经许可人员禁止入内
(5)氮气置换首末端要采用大范围警示带提醒，如无法避免交叉作业时，应佩戴便携式气体检测仪
(6)有足够的空间摆放设备，空压机连接制氮设备稳固。氮气出口连接位置正确，标志明显。检查所有软管，管件、接头和阀门的正确压力等级。控制和保护注气管和软管的安全
(7)用于检测管道末端氮气及氧气浓度用的气体分析仪的量程、精度等级、检定其符合要求，并备有当前校验证书。
(8) 有经批准的氮气置换方案，施工人员经过技术交底。
(9) 对氮气置换前由于其它原因导致尾项遗留的要在检查中填写尾项记录，和相关人员确认签字，尾项消项后要经过确认。
高纯气体输送系统对设计方案的要求
整 个输送系统必 须有高度的 气密性 和严格的沽净度 。 供气方式的选择 、 一个集 中 目前国 内还没有 区域性 的 管道供气方式，除 自备 “ 空 分 ” 装 置 外 ，长输管道氮气置换， 大多 为商品 气、 诸如北 京 、 上 海 、 江 苏、 浙 江 的 一些集成 电路厂越来越多地改用 液态 源集 中气 化供应 ， 据说在 公里范围 内有液态源 ， 还 是有使用的可取之 处 ， 然而不论是 用 液态 还 是气态 ， 将贮存容器集 中输送为 好 ， 更有利于 安全管理、 两种选择 图 是上 无 十 四 厂 气站 直接 向 各 车 间 供应 电子纯液氧 ， 液氮的系统流 程 图 。 第二种选择 ， 我们可 以参照 图 ，管道置换氮气， 它是贝岭公司气站集 中供应 个 液氮液氧再经纯 化装置后 向工艺车间供应高纯氮 ， 高纯 氧的 系统流程图 。 、 三个方式丫夕、， 户气站高纯气 使用点 关于管径和管路形式 气体输送系统的详细设计固然要以有关 技术规 程 和 安全 法 规为基 础 ， 进行 流量 估算 ， 采用经济合理的流速 ， 考虑到使用压力和 管阻及输送距离 ， 确定合理的管径和管路形 式。 在上无 四 厂 ，我们对多个生产车伺 ， 采 用在气站设 分气 缸 图 作 辐射 状安装 ， 各车间管径相 同， 独立一路， 力避相互窜气干 扰 ，保持工作 压 力 稳定 当 时设计 压 力 仅为 一 勺， 使用管理和维护方便 ， 而在贝岭‘ 公司全部管路成树枝状 延伸 ， 干管统一为 一 个 口 径 支管 又 统 一 为 一 个 口 径 。
1、高压波纹软管：外表不锈钢金属网内衬PTFE材质，长度1米以上，通径大于6MM。一端符合标准钢瓶的连接型号，另一端连接自动切换系统。承受大于3000PSI。其特性为：洁净光亮、柔软、防腐。
2、低压报警器：低压报警器多触点可模拟数据输出型，报警器可蜂鸣闪光同时显示报警气体的名称。防爆接线、信号模拟和自动切换系统汇流排相匹配。
3、减压阀：316L不锈钢材质。一级减压阀进气压力0-200bar，出气压力0-16bar;二级减压阀进气压力0-16bar，出气压力0-6bar。进出口接口1/4”FNPT螺纹，压力表接口1/4” MNPT螺纹。
4、管道 ：管道采用内表面BA及316L ASTMA269标准不锈钢管道，316L不锈钢光亮退火，母材符合BA及高纯管道，管道的内表面处理值要小于0.37U。管道的标准：1/4”---1/2”壁厚0.88mm。zui大承受压力为300bar，气管适用纯度等级为5.0的气体。
5、接头：采用316L不锈钢光亮退火，母材符合Bji的高纯气路配件。双卡套设计。硬化处理之后卡套，具备对管子的耐震力及高抓力，管道氮气置换，使管子在任何情形下不易松脱而造成危险。后卡套内部有凹槽，安装时可以降低扭力，安装者可以轻易将接头锁至标准圈数。螺帽内部螺纹做镀银处理，具备安装时必要的润滑，延长螺纹寿命。
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