特种气体系统的设计与施工
辅助系统的设计
气体柜或控制面板在安装和运输的过程中由于搬运和震动，特种气体生产厂家，阀门、接头、过滤器等的更换、或其他原因、需要对其重新进行高压气密性试验和氦检，特种气体厂，气体的置换也需要用到高压氮气或氦气，所以特气柜需设计接入高压惰性气体氦气或氮气。一般选择在特气房设置一台或多台惰性气体柜。
特气柜中装有各种气体驱动阀，高纯度特种气体多少钱，主管路在送气前必须进行管道的吹扫和空气的置换，所以还需辅助有高纯氮气和洁净压缩空气系统。氮气系统采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，其管径根据气柜的多少来计算决定。
特种气体间 speciality gasroom是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，安徽特种气体，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。特种气体是光电子、微电子等领域，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子。
特种气体管道的施工
特种气体管道的施工采用全自动轨道焊接，同时制定和实施严格的超高纯施工和QA/QC保证程序，对施工的质量和程序进行严格的监控和管理。后整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。
预制间的选择
特种气体管道的施工对环境的要求比较高，管道施工采用大批量预制然后现场安装的方法。按照标准，预制作业需要在洁净度达到百级的净化间进行，作业人员也按照百级净化间的管理着装。因此对于特气项目，一般都建有一个标准的预制间。
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