空气分离设备就是将空气液化、精馏、终分离成为氧、氮和其他有用气体的气体分离设备，高纯氧气袋，简称空分设备。它的工作温度为77K。19世纪末空气仍被称为“气体”，后来人们发现在深低温下空气也能液化，并因氧、氮沸点不同，可以从液化空气中分离出氧气和氮气。台商品化的制氧机于1903年制成，高纯氧气，它只是用于金属的气焊和切割。氮肥工业需要氮气，制氧机发展到能同时生产氧气和氮气，改称空气分离设备。空气分离，简称空分。是指应用低温冷冻原理从空气中分离出其组分（氧、氮和、氦等稀有气体）的过程。其工艺流程为中压带透平膨胀机的克劳特循环。空气从大气中吸入空压机，被压缩到所需的压力，高纯氧气制作，再经末级冷却器冷却后进入氟里昂预冷机组，高纯氧气瓶，被冷却至5℃左右进入纯化器，在其中除去水份、二氧化碳、碳氢化合物等物质，进入分馏塔。
{高纯氧气}纯度编辑
纯氧、高纯氧、超纯氧（GB/T14599-2008)
项目名称 指标
超纯氧 高纯氧 纯氧
氧气（O2)的体积分数/10 ≥ 99.9999 99.999 99.995
氢气（H2)的体积分数/10 ≤ 0.1 0.5 1
（Ar）的体积分数/10 ≤ 0.2 2 10
氮（N2)的体积分数/10 ≤ 0.1 5 20
总烃含量（以计）/10 ≤ 0.1 0.5 2
二氧化碳含量/10 ≤ 0.1 0.5 1
水分/10 ≤ 0.5 2 3
注：表中纯度和含量均以体积分数表示（V/V)。
制取方法
大部分商品氧都是由空气分离制造的。即将空气液化后经精馏提纯。也可采用低温全精馏法。少量氧采用电解氧为原料，经催化脱氢可制取纯度为99.99%以上的高纯氧。其他纯化方法有变压吸附法和膜分离法。[2]
应用
高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积；作为氧化源与产生高纯水的反应剂；干法氧化；与四氟化碳混合，用于等离子刻蚀。氧的主要用途源于它能维持生命和助燃性质；在冶金工业中有广泛应用。还可用于水质处理。所有的氧化反应和燃烧过程都需要氧，例如炼钢时除硫、磷等杂质，氧和混合气燃烧时温度高达3500℃，用于钢铁的焊接和切割。玻璃制造、水泥生产、矿物焙烧、烃类加工都需要氧。液氧还用作，它比其他燃料更便宜。
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