气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，液氮汽化器控制系统，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接***好以轨道式焊接法（OrbitalWelding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，液氮汽化器，并向施焊管内通入同等纯度的气，这样可以确保连接的品质，液氮汽化器配管，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（Metalto metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有VCR和Swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，VCR式的接头主要用在制程气体以及危险气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（Gasket）将会适度变形以确保管路每秒低于10-9cc的氦气泄漏率（LeakageRate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合不良或气体外泄。Swagelok接头通常用在惰性气体、氮气以及CDA等气体的传输上，因为这些气体可以容许一定的外泄率，所以不常用成本较高且须焊接的VCR式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，液氮汽化器计算，因为大多数的危险气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
为什么要进行氮气置换
置换的目的是将容器及管道内的氧气置换到低于极限，防止投料时产生的粗合成气与氧气混合而发生。
一般是可燃性气体通过的管道或容器在使用前应使用氮气置换。目的是置换出管道内的空气，避免可燃气体与空气中的氧气形成可燃性混合物。危险进可能造成内燃或。
一些洁净的管道或容器内介质需要与氧气隔绝，比如为降低一些介质染菌率，则应提前用氮气置换其中的空气。
氮气置换装置工作过程中是将做完气密性试验的CNG汽车管路内空气进行氮气置换，先用真空泵抽空，后将氮气充入管路，反复充放几次，氮气置换完毕。改装置包括真空泵、真空表、相关阀门、管路等。
扩展资料：
氮气是一种惰性气体，不易发生化学反应。氮气的保护保证了在反应的过程中不会出现氧化反应而影响产品的品质。
而且可以避免因发生剧烈的化学反应而导致的其他不良情况。从效果及成本来看，使用氮气置换是的选择。
PSA制氮机以取之不竭用之不尽的空气为原料，以碳分子筛作为吸附剂，运用变压吸附原理，利用碳分子筛对氧和氮的选择性吸附而使氮和氧分离。
与传统制氮法相比，它具有工艺流程简单、自动化程度高、产气快(15～30分钟)、能耗低、氮气纯度在线检测，操作维护方便、运行成本较低、装置适应性较强等特点。
不锈钢制管件是用来传输各种制程气体的主要管件，尤其是传输一些的危险性气体。所以不锈钢制管件的制作和施工要求在以上几种不同材质的管件中***为严格，一般对于P级要求（×10-9级）制程气体的输送，均要求采用SUS316材质的EP (ElectronicPolishing)管材，对于一般非制程气体的输送采用SUS316材质的BA （BrightAnneal）管材。SUS316作为一种低含碳量的不锈钢材料，它不仅具有抗腐蚀性好的优点，而且对凹洞的抵抗性也很好。由于BA管的制作是经过了溶解、压延（Hot/ColdRolling）、溶接(Welding)、热处理(Hot treatment)、研磨(Polishing)等复杂过程，其表面粗糙度Rmax≦4.5mm。EP管材除了表面研磨等过程外，再加以电解研磨及精密洗净技术，其Rmax≦0.7mm。
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